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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58
$ G, q( O4 X" R! Z' }北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上，很明显是有点语嫣不详。; N/ d$ H2 n& Y* o
先看今天北大、交大官网上 ...
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍+ [& l1 h! d. L) O. s# H
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介# z# Y8 ^/ j& F( t$ R
来自： 电子与信息 >6 N+ y! t- t/ U9 r" ~

: m5 q( r$ C2 E' z, N) z9 alogic20029 O5 t- Y3 [1 G0 Z3 u( V4 b
楼主 2007-9-5 00:30/ l6 X x: Q7 t' l0 H0 W+ M
回复$ Y# w$ X6 ?, n8 ~0 s6 }* t
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
7 C. n5 Y6 C) h& ~, o/ \2 F, v+ `所属单位 信息科学技术学院
, |. J7 L5 q- A' K使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层
9 r; y( g, d% L# O! ]管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* $ W, }5 T0 A- N* F" {6 f
实验室主任 王阳元 ' B2 o7 H! b) B6 m
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境，拥有900平方米超净厂房，150余台套工艺实验和检测设备，价值超过8000万元，是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。; N' ~) U6 `% C _, [' Z2 {' q P
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面，实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师，是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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