新凯来是不是搞定EUV原型机了？从原型机到量产机型要2年多

独孤九剑破刀式 · 发表于 2025-10-15 09:40:13

满天都在吹新凯来，上两月新凯来子公司的浸润式光刻机才亮相，EUV有那么快？

慈伟方的 · 发表于 2025-10-15 10:01:26

是用DUV生产5NM

独孤九剑破刀式 · 发表于 2025-10-15 10:04:37

慈伟方的发表于 2025-10-15 10:01
是用DUV生产5NM

5nm能量产商用也不错，四重曝光成本有点高

a4633464 · 发表于 2025-10-15 10:11:58

目前我看到的消息是华为生产麒麟等国产芯片用的都主要是ASML的DUV设备，因此之前一直都不公开的说，由此可以推断出国产DUV设备应该是没搞定，而美国荷兰政府也刚好只禁运到DUV，所以我猜大概是14nm以上成熟制程国产设备可以生产（可能良率不高以及不好用），7nm的DUV需要依靠之前进口ASML设备，而国产EUV应该还早吧

独孤九剑破刀式 · 发表于 2025-10-15 12:42:03

本帖最后由独孤九剑破刀式于 2025-10-15 12:46 编辑

a4633464 发表于 2025-10-15 10:11
目前我看到的消息是华为生产麒麟等国产芯片用的都主要是ASML的DUV设备，因此之前一直都不公开的说，由此可 ...

上海宇量昇不是有了浸润式DUV原型机吗？都给中芯国际建生产线了

独孤九剑破刀式 · 发表于 2025-10-15 12:45:50

a4633464 发表于 2025-10-15 10:11
目前我看到的消息是华为生产麒麟等国产芯片用的都主要是ASML的DUV设备，因此之前一直都不公开的说，由此可 ...

我仔细翻了，中国DUV光刻机不同公司路线不一样，这几家公司还交叉持股。
饱和式研发，所有路线试一试

subcom · 发表于 2025-10-15 12:49:07

网络吹子成性

Andy8888 · 发表于 2025-10-15 12:55:00

subcom 发表于 2025-10-15 12:49
网络吹子成性

就某哈吹子每隔段时间就出来吹下，以前被打假多次了。。。

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 12:57:55

Andy8888 发表于 2025-10-15 12:55
就某哈吹子每隔段时间就出来吹下，以前被打假多次了。。。

他们学校其实非常浮躁每次都是这样也就不懂的无脑吹在网大这种大家都懂的论坛就算了

光刻机上万个部件高校和中微干了这么多一坨shit 其实很多高校都或多或少做一点部件

才会让华为主导做

congyun · 发表于 2025-10-15 13:10:44

浮躁的某校5年拿了20个国家科技奖，只有5所高校达到。不浮躁的某校颗粒无收，只靠精神粉们到处攻击

a4633464 · 发表于 2025-10-15 13:13:52

独孤九剑破刀式发表于 2025-10-15 12:42
上海宇量昇不是有了浸润式DUV原型机吗？都给中芯国际建生产线了

我其实不太懂这个，都是看新闻，之前论坛有人说国产250nm都没搞定，不知道真的假的

congyun · 发表于 2025-10-15 13:19:09

a4633464 发表于 2025-10-15 13:13
我其实不太懂这个，都是看新闻，之前论坛有人说国产250nm都没搞定，不知道真的假的 ...

确实如此，否则美就不会封锁5nm 以上制成设备了，很符合逻辑。

a4633464 · 发表于 2025-10-15 13:36:31

congyun 发表于 2025-10-15 13:19
确实如此，否则美就不会封锁5nm 以上制成设备了，很符合逻辑。

是的，美国荷兰只封锁到7nm DUV了，所以7nm设备咋们应该是没有的，我也查了资料，我国光刻机基本还是进口为主的，包括14nm以上制程，说明国产成熟制程光刻机还是没有大规模用起来了，我猜测可能还是不太好用

congyun · 发表于 2025-10-15 13:48:49

a4633464 发表于 2025-10-15 13:36
是的，美国荷兰只封锁到7nm DUV了，所以7nm设备咋们应该是没有的，我也查了资料，我国光刻机基本还是进口 ...

封了这么多年还进口呢

zhexueboshi · 发表于 2025-10-15 14:09:37

自己的光刻机没有一款应用于量产，不进口难道靠哈工马甲的嘴巴？

zhexueboshi · 发表于 2025-10-15 14:10:33

扯东扯西一点用没有，因为国内所有大厂应用于量产的光刻机都是进口的

独孤九剑破刀式 · 发表于 2025-10-15 14:22:58

a4633464 发表于 2025-10-15 13:36
是的，美国荷兰只封锁到7nm DUV了，所以7nm设备咋们应该是没有的，我也查了资料，我国光刻机基本还是进口 ...

国内的浸润式DUV都是封锁之前买的。国产浸润式DUV还在试产7nm

a4633464 · 发表于 2025-10-15 14:29:22

独孤九剑破刀式发表于 2025-10-15 14:22
国内的浸润式DUV都是封锁之前买的。国产浸润式DUV还在试产7nm

我其实有个疑问是，为啥美国荷兰不禁止14nm以上成熟制程光刻机出口中国呢？如果中国没有成熟制程光刻机或者良率很低的话，那按照今天中国成熟制程芯片的规模，禁止14nm以上成熟制程光刻机对华出口，也会起到很大的限制作用

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 14:47:32

congyun 发表于 2025-10-15 13:10
浮躁的某校5年拿了20个国家科技奖，只有5所高校达到。不浮躁的某校颗粒无收，只靠精神粉们到处攻击 ...

巨无霸高校多拿几个有什么惊讶的精度不咋地土建环材拿奖

学生一个不招有啥用关键问题解决不了废物一个

congyun · 发表于 2025-10-15 17:00:15

土建环的奖在哪里呢？？？有一个就双双了

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 17:07:35

congyun 发表于 2025-10-15 17:00
土建环的奖在哪里呢？？？有一个就双双了

难道不是这些年评院士学校一半的院士是土建环材

难道这一半的人土建环材没有国奖上的？难道你哈有招生能做到人人喊打的高校不多

还不是你哈文工团太多揭老底还不可以

光刻机八字没一撇吹了四五年了实际上万个零部件就参与了一点点就大吹法螺

真正有成绩是华为接手之后开始干的你也凑上了实际懂一点不是企业就是光机所做出真有点用的东西

congyun · 发表于 2025-10-15 17:10:46

哪所学校增选一半院士是土建环的？列一下名字，今年9个国奖0个土建环医，精神粉校破灭了吗

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 17:23:53

光刻机的那个大学没做点贡献

能流束超高精度加工技术，首先提出这个说法的是国防科技大学。其主要背景是，光刻机曝光光学系统的光学零件的最后纳米精度加工手段中，主要是离子束抛光技术、磁流变抛光技术、射流抛光技术，都不是一些传统近固态的抛光模具，其加工和检测都已经达到原子级的精度。这里有一个例子，蔡司（zeiss）一个450mm直径的镜面，面型精度是50pm，相当于850km见方的区域内高低偏差只有75微米。目前，最高精度的光刻机是zeiss的EUV光刻机。其EUV3400型号的光刻机的镜头光学元件的精度面形达到50pm。 2010年，彭小强带领的磁流变研究小组实现了光学元件面形精度20nmPV的突破，这意味着他们具备了加工光刻物镜这类超高精度光学零件的装备和工艺。这也是超精密加工团队近20年来取得的最重要的研究成果之一。彭小强教授带领的超精密加工团队的设备交付长光所和成光电，目前DUV,EUV的光刻物镜都能做，这也是光刻的核心部件。实打实的贡献，你哈吹得都是虚无缥缈，啥贡献没有，吹逼第一位，EUV影子都没有。说说你哈的东西具体怎么用在光刻机的啊。

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 17:28:10

有些高校是只做不说有些高校做不出来开始说四五年做了一点希望所有人都知道

清华做光刻也这么多年了你看清华吹啥了目前还是国际二流水平没啥值得吹的

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 17:40:57

tmacnumber1 发表于 2025-10-15 17:23
光刻机的那个大学没做点贡献

能流束超高精度加工技术，首先提出这个说法的是国防科技大学。其主要背景是， ...

目前高分神光光刻机等超精密光学部件的加工设备都是来自国防科大

李圣怡：男，1946年4月出生，国防科学技术大学教授、博士生导师，享受国务院政府特殊津贴。现任中国机械工程学会精密工程与微纳技术委员会主任、中国微纳技术学会常务理事、国家973项目首席科学家。

长期从事先进光学制造、超精密切削与测量、微纳米技术等方向的研究工作，主持国家重大专项项目、国家973项目、国家863项目、国家自然科学基金重点项目等30多项研究任务，在空间光学镜面加工、光刻物镜超高精度光学零件加工和强光光学窗口无可视损伤加工等方面取得了一系列重大突破，实现了亚纳米精度的光学面形加工，推动我国光学制造水平进入世界前沿行列。研究成果获国家技术发明奖3项。

可惜李圣怡选院士的年龄太大了李老师可惜了选了几次就放弃了

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 17:45:45

科学家发表于 2025-10-15 17:42
你还不允许外国人吹，你真牛逼。
国外都知道，中国LDPEUV光源是哈工大搞的。
...

LDPEUV光源只是路线之一还有其他光源路线在推进请举出你哈在光刻机实打实的贡献

EUV八字还没有一撇难道说我要拿诺奖我就是做出了贡献

所谓做出贡献是已经应用的你哈只是自吹的要做能不能做可以用不工程化还有一堆路要走

为啥都说你哈吹牛原因就在于这个地方

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 17:53:09

你稍微懂一点就晓得你哈做的DPP还在研究阶段没有成果的东西永远都可以吹

阿斯麦在DPP的研究非常困难 LPP的主要工作目前是上光所在做你说说看你的所谓贡献在哪里打烂你们这帮文工团的脸

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 17:56:31

科学家发表于 2025-10-15 17:50
哈工大一个大学，能把EUV光源做出来就很伟大了。
你要被气死了。

呵呵做出来来了吗  上海微电子喊了那么多年的128 64

怎么样用了十几年才堪堪能用

然后华为进场才有今天的突破  等你们学校什么时候能够做出来装机了再说吧能用好用

一个什么都没有做出来的  说你们学校浮躁有错？

tmacnumber1 · 发表于 2025-10-15 17:59:47

话我就放着了看你们以后打脸你哈就是在那大吹法螺

最后相信国产EUV一定会有但是大概率会使用光机所研发的光源+或者华为联合光机所联合研发的光源

与其他高校没有关系不要强行凑数一个立项的课题居然在抖音吹成你哈突破了一样实际啥也不是

Andy8888 · 发表于 2025-10-15 18:47:17

科学家发表于 2025-10-15 17:50
哈工大一个大学，能把EUV光源做出来就很伟大了。
你要被气死了。

小梅沙的小马甲瞎球不懂，只知道胡吹。脸皮比城墙都厚。。。

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