|
|
发表于 2025-2-17 12:19:29
|
显示全部楼层
本帖最后由 tsenway 于 2025-2-17 12:24 编辑 7 ?+ ^5 t. C7 b
* ^$ r- I$ s, z我交AEMD平台（先进电子材料与器件校级共享平台）是自筹资金6000万，开通两条不同空气净化条件的8吋、6吋晶圆流水线，具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。 ~* x3 {& b0 M% h) x, B+ f) `
原因大概是原本与P大共建微纳技术平台，2012年，主管部门給我交的建设方向是非硅基的MENS（搞异质异构时含硅基），而把硅基的MENS归P大。既然如此分工，我交自筹资金6000万建设的8吋、6吋硅基晶圆流水线，就单独出来，变成AEMD平台。 U; @3 z6 K5 g
所以我交的微纳技术MENS就出现多个分支：) \" S4 _+ e# O& r+ V Y1 M9 |
属于全国重系列的
. R8 y) G% s1 o微纳加工技术全国重点实验室(除硅基之外的一切对象，异质异构项目含硅基);5 B2 O5 b+ h) N. s. z, _
深海科学与检测全国重点实验室（在长兴海洋实验室内开建，含整套海洋声磁光电及温度压力传感器MENS制作流水线）;( {! H$ a$ {+ O+ N- R; x
属于AEMD平台的
8 B6 g4 ~& P% a* ]. k) f, i含硅基集成电路的先进电子材料与器件。8 r. |6 h. t* i( a u
另有一个与深圳大学共建的“射频异质异构技术全国重点实验室”也是相似工艺路线的微纳加工技术。
1 Q6 G2 T+ T: ?* Q6 ]7 |; E) }
7 z ^0 G$ k7 Z* Z; x3 _1 y2 e: K3 ^
|
|
楼主
发表于 2025-2-17 11:11:01
