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发表于 2025-2-17 12:19:29
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本帖最后由 tsenway 于 2025-2-17 12:24 编辑
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我交AEMD平台（先进电子材料与器件校级共享平台）是自筹资金6000万，开通两条不同空气净化条件的8吋、6吋晶圆流水线，具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。
% [% f* v2 o+ S# T$ I原因大概是原本与P大共建微纳技术平台，2012年，主管部门給我交的建设方向是非硅基的MENS（搞异质异构时含硅基），而把硅基的MENS归P大。既然如此分工，我交自筹资金6000万建设的8吋、6吋硅基晶圆流水线，就单独出来，变成AEMD平台。
* Z/ w- _ O: S0 N" ~9 \0 e所以我交的微纳技术MENS就出现多个分支：/ p! x3 x& ^# l* ?+ X: L
属于全国重系列的
# {* B G# ~. S1 ]* Z微纳加工技术全国重点实验室(除硅基之外的一切对象，异质异构项目含硅基);0 n2 w, J Z, A" n
深海科学与检测全国重点实验室（在长兴海洋实验室内开建，含整套海洋声磁光电及温度压力传感器MENS制作流水线）;
. \( ]' S3 Y" E( g, a( B属于AEMD平台的
/ |" o/ \6 f8 B+ ?- d: s% X% o W含硅基集成电路的先进电子材料与器件。
. E5 g& ]& I, m; p, W h! |5 I6 r+ z另有一个与深圳大学共建的“射频异质异构技术全国重点实验室”也是相似工艺路线的微纳加工技术。
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发表于 2025-2-17 11:11:01
