浙大新型激光直写光刻机问世，28-14nm国产芯片产能加速，EUV依赖大幅降低

求实园 · 发表于 2026-4-12 20:59:08

academic818 发表于 2026-4-12 12:59
2 I* Y* E- |# r) h有的人一上来就全盘否定，动机存疑。
( P0 S) ~ `1 w# z查了deepseek，对这项成果评价颇高。

好奇怪这些人，怎么这么没风度。

求实园 · 发表于 2026-4-12 21:03:10

lhqbs 发表于 2026-4-12 13:125 G6 b' }% L0 z" ^, K
我对这个成果不予置评，但对于你通过一个AI软件的评价来评价，是否有点幼稚？ ...

幼稚谈不上，用AI的“成熟睿智博学”的大佬多了去了。再说了，人家也没说AI一定全对。但是总的来说，一般人对这个领域不太了解吧，主流的科技AI总比张三李四要全面一些，它至少是人类各方面有关文章的喂投和总结，所以可以利用AI来了解一些基本情况。

求实园 · 发表于 2026-4-12 21:05:25

xyz 发表于 2026-4-12 13:351 |# d+ k* b6 i& `! O
这种技术只是前期的试验，如果成本、工业化可行，才会投入资金进一步开发和落地，新闻宣传要懂哪里是实，哪 ...

鼓励阁下要执着地对浙大批判，不要缩回去，不要软化自己。

求实园 · 发表于 2026-4-12 21:07:52

庄生晓梦发表于 2026-4-12 15:47$ E" F4 d. k& Z1 @9 ~2 O/ B3 I4 {
中国高校的科研现状是99%的子弹根本就飞不起来，出了枪筒就掉地上了，主要就为了听那一声响，让大家都以 ...

阁下那么有能耐应该可以甄别出哪些是1%吧。万一人家真的是百里挑一的呢？至少在所谈的领域（可以被你看不起货怀疑）人家行动了并坚定地在发展尝试中。

zgjyb · 发表于 2026-4-12 21:32:33

尼康当时要能用林本坚的浸润式微影技术，也不至于到今天这个地步，科学思维只是合理怀疑

庄生晓梦 · 发表于 2026-4-12 22:23:03

求实园发表于 2026-4-12 21:07
+ e" L; R" K8 m, i# z% b3 }1 p' ~) n阁下那么有能耐应该可以甄别出哪些是1%吧。万一人家真的是百里挑一的呢？至少在所谈的领域（可以被你看 ...

我无言以对，自惭形秽。

酚妥拉明 · 发表于 2026-4-13 17:29:02

浙大发文章可能不如清北，可是在成果产出这个指标上，倒是值得清北学*

董老师 · 发表于 2026-4-13 21:16:18

看不懂内容，也凑热闹点个赞！

tjl1128 · 发表于 2026-4-17 17:42:00

喀麦隆壮汉发表于 2026-4-12 20:38: P1 {0 g6 L9 D) |2 c
浙大做光刻机，经过哈工大同意了吗？

浙大光学工程本来就比哈工大强吧

杭州长生 · 发表于 2026-4-21 23:12:34

浙江大学总是会有杰出成就给人惊喜！

antty · 发表于 2026-4-21 23:39:54

浙江大学赞

tsenway · 发表于 2026-4-22 12:08:39

光线衍射导致边界模糊，是客观规律。
光波长越大，衍射现象就越严重，从而工程师们转向求助极紫
除非发现新的工艺取代“光刻”，集成电路制作师追求极紫的心态很难消失。

爱南方 · 发表于 2026-4-22 13:42:37

tsenway 发表于 2026-4-22 12:08
% S5 y$ J `5 T+ d2 L光线衍射导致边界模糊，是客观规律。8 R1 V; O. w# [- V: B5 B3 I+ u
光波长越大，衍射现象就越严重，从而工程师们转向求助极紫
- }6 b! V4 ]1 j+ {% P* d. \除非发现新 ...

你是业内行家

投行打工人 · 发表于 2026-4-25 17:56:08

庄生晓梦发表于 2026-4-12 11:36# G! \1 f( L1 g# h
确实这样，实验室里搞出个屁都能吹成原子弹爆炸模型

是的，当年的上交汉芯带领的浮躁风气，很恶心

leo-0 · 发表于 2026-4-25 19:26:35

真正的创新研究还是要鼓励的，不能一棍子打死。

dayubenshen · 发表于 2026-4-25 20:15:20

直写光刻机不是啥新鲜技术，开始好像也是台湾人发明的。国内有家上市公司芯碁微装就是专门做直写光刻机，很多高校都有他们的产品

dayubenshen · 发表于 2026-4-25 20:15:20

直写光刻机不是啥新鲜技术，开始好像也是台湾人发明的。国内有家上市公司芯碁微装就是专门做直写光刻机，很多高校都有他们的产品

dayubenshen · 发表于 2026-4-25 20:21:01

上海微电子也做直写光刻机，都是做国产化替代，原来国内市场被几家国际公司垄断了，核心部件主要还是用德州光学的，而且达不到euv的精度

academic818 · 发表于 2026-4-25 23:25:18

dayubenshen 发表于 2026-4-25 20:15
- n3 ?0 o3 W4 X* \( i直写光刻机不是啥新鲜技术，开始好像也是台湾人发明的。国内有家上市公司芯碁微装就是专门做直写光刻机，很 ...

浙大激光直写光刻机龚旗煌院士怎么评价根据公开信息，中国科学院院士龚旗煌对浙江大学研发的万通道3D纳米激光直写光刻机给予了高度评价，主要观点如下：革命性突破龚旗煌院士认为，万通道技术是激光直写领域的革命性突破，解决了长期困扰行业的“速度与精度矛盾”难题。该技术通过“数字微镜协同微透镜阵列”光场调控方案，实现1万多个激光焦点并行加工，既保证了亚30纳米的高精度，又大幅提升了加工速率，突破了传统单束激光直写技术的局限。产业格局重塑他指出，该设备的落地将彻底改变高端掩模制造的产业格局，为国产芯片产业链补链强链提供关键支撑。它打破了国外在高端掩模制造设备领域的垄断，使国内企业能够自主生产高端掩模版，降低对进口设备的依赖，减少技术封锁和禁运风险。全链条自主可控龚旗煌强调，浙大团队不仅研发了光刻机，还同步发布了桌面式高亮极紫外光源和桌面式极紫外光显微镜，形成了“光源-制造-检测”的闭环体系，实现了高端掩模制造全链条的自主可控，有助于提升国产光刻工艺的良率和芯片自主化进程。总体而言，龚旗煌院士认为该成果标志着我国在高端激光直写领域实现从跟跑到领跑的转变，为半导体产业自主化开辟了全新路径，具有重要的战略意义和产业化前景

lostworld1978 · 发表于 2026-4-26 13:58:53

不看广告看疗效

helloabc · 发表于 2026-4-26 21:06:50

只要是在这些领域哪怕取得微小进步，也值得赞扬

helloabc · 发表于 2026-4-26 21:07:03

只要是在这些领域哪怕取得微小进步，也值得赞扬

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浙大新型激光直写光刻机问世，28-14nm国产芯片产能加速，EUV依赖大幅降低

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