|
|
https://news.sjtu.edu.cn/mtjj/20241128/204717.html7 v" s0 R0 h9 t. i0 R
2024年11月26日，上海交通大学先进电子材料与器件平台（以下简称“AEMD平台”）迎来十周年庆，同时平台正式开放二、三期运行。
/ L/ H$ q2 ^" c" w1 ?! H/ k& G# N$ n( D% u2 z
AEMD平台创建于2012年，目标是建立一个服务于交大全校的微纳加工工艺实验平台，并面向校外科研院所和企业开放共享。一期净化工程于2014年建成开放，为具有纳米尺寸图形化能力的6英寸无源微纳结构与器件加工的科研实验线，涵盖光刻、薄膜、刻蚀、热工艺等全链式微纳加工工艺。
, W; e7 r" J/ q9 p- @ V% ^
, Y+ X( u A+ _8 m6 t9 h. o继一期开放后，AEMD又追加逾3亿元投入平台二、三期建设，建成1200余平米、洁净度从十级到千级标准的东区超净间。现整体拥有近1800平米东、西区两个净化实验室，6、8英寸先进微纳加工实验线各一条，具备多层级光刻图形化、薄膜生长与沉积、干法刻蚀、湿法清洗与刻蚀、先进封装、表征与测试等完善的微纳加工与测试能力，新增全自动深紫外步进式光刻机、离子注入机、分子束外延、激光诱导玻璃刻蚀、晶圆键合等先进的微纳加工与封装设备，有效增强了平台在有源电/光器件、MEMS、先进三维封装等领域的科研服务支撑能力。
- i+ K, E1 M& S4 T, U
+ ^2 R1 p5 X0 ?; t4 d7 v Y“AEMD平台已发展成为国内开放程度高、运行机制良好的知名微纳加工平台。”上海交通大学党委常委、副校长蒋兴浩表示，十年来，平台为上海交通大学多学科发展和交叉融合作出了突出贡献，同时积极对接校外科研院所和科技企业的项目需求，促进产业关键技术创新与突破。
6 B( s% o( y9 M- Z* m; Y1 G0 F
% x, N# T# h5 H- Z1 y据悉，近年来，随着万物互联、人工智能等技术发展，对微纳技术也提出了更高的要求， AEMD在新型光电器件等方面提前布局，支撑校内外科研团队在相关领域实现突破，取得了丰硕成果。二、三期针对有源电/光器件、异质异构先进封装等方面做了前瞻布局，新增8英寸级高端微纳加工与测试新设备，助推上海交通大学的微纳加工能力从无源器件全面提升到有源器件加工水平。
5 F& ?' Z' r: J y# f) x5 q# ?# R k6 ^' Q1 O9 m! P
本次活动汇聚了多家科研院所、知名企业、领域专家及技术人员参与，部分企业向平台捐赠最新科研仪器设备，助力微纳极端加工技术的突破。% ]: j, R; U1 u9 W$ v
( I& d* }. r6 ^. A
很遗憾，我交添置不起EUV。, A9 \6 k& ]4 b' P' U. ]
4 f) n4 k8 J9 Y3 K1 E6 E8 G! a
|
|
发表于 2024-12-2 13:33:01
发表于 2024-12-2 13:58:07
楼主
