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发表于 2025-6-30 22:53:05
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最早的拿过两次国家科技一等奖的项目,经费并不多,哈工大牵头的空间站小机械臂,我记得好像是5个亿左右,看上去不少,但实际上大部分是材料和实验费用,教育部头部高校的物理学院,科研经费强度那才较高,年均到账经费都是3亿+以上。
参与光刻机的是谭院士团队,平面/直线电机是六系,偏控制方向的已经调到仪器学院了,没有看到机械学院超精加工方向涉及到镜头的项目(大概率是中科院光机所的任务),EUV大功率二氧化碳激光器应该是华工或中科院,DUV的浸液系统似乎是浙大/华工在攻关。 |
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