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贴一段清华工科设备平台支撑基础学科的例子0 j+ j+ U9 q9 p, |7 a
8 M4 ?! x# a4 n+ D; }超高真空互联平台赋能自旋电子学重大突破 连续两年登顶《Nature》$ p! L. P5 D x* J, Y- @$ L+ o
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清华大学微纳加工中心" ^" w2 A- B' {9 {" T; D+ R K$ y
2026年3月13日 13:43
4 ^8 h+ m3 y1 N1 g宋成教授团队长期深耕自旋电子学领域，科研成果接连取得重大突破。2025 至 2026 年，团队连续两年在国际顶级期刊《Nature》发表原创性成果，先后实现交错磁体调控、手性反铁磁效率密码破解等关键科学突破。两项重大成果均依托清华大学微纳加工中心的超高真空互联系统完成，充分彰显了中心高端设备平台与前沿基础研究深度融合的强大支撑能力与重要创新价值。8 ?- ?7 b6 r5 h2 k' G R6 ~, s+ B
超高真空互联系统设备简介清华大学微纳加工中心的超高真空互联系统，是专为前沿薄膜材料研究打造的高端集成化平台，也是支撑自旋电子学两项重大成果的核心设备，其独特性能优势，为高质量薄膜材料制备与研究提供了强有力的实验条件。该系统采用一字排布的腔体布局，以真空互连的方式实现各腔体原位自由组合，从根本上减少了不同工艺过程中样品暴露大气产生的污染，保障了高质量薄膜材料的制备与表征工作。系统集薄膜生长与原位表征于一体，整合分子束外延、磁控溅射、原子层沉积、激光溅射沉积等先进薄膜生长工艺，搭配角分辨光电子能谱、扫描探针显微镜、扫描俄歇显微镜等原位表征手段，实现了从材料生长到性能表征的一体化、原位化操作，无需对样品进行二次转移，最大程度保留样品的原始状态，为研究人员探索材料的本征物理特性、实现精准的材料调控提供了关键保障。 |
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