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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58( r: u- R/ F% r: b! C& L. t2 g; y7 M
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。6 S3 k4 a; x' A! x& l0 i+ ~ z
先看今天北大、交大官网上 ...
$ P2 b F- O2 ]0 W$ Z4 [+ S2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍* Z* g: a% r0 @
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介/ c7 [! R4 ~9 h1 w, z
来自: 电子与信息 >
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logic2002
9 B7 W, M$ @) I: j, Y! Q# R楼主 2007-9-5 00:30
" a# k+ t& U. I; R! i8 g7 Z; f, y回复" K( l8 e# Q, _6 N5 O+ w
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
& Y% L, z+ ]1 ^7 X5 X* J( H所属单位 信息科学技术学院
, R3 w5 m6 T& y+ k# O, Y使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层% u; @/ a) l$ q4 F8 R6 P' E. `7 F
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
. l5 v+ h5 F" W3 C1 O4 w# b* y实验室主任 王阳元 + r" ? z/ k x, s' l- d
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。
8 O/ h% ?, y0 ?- v6 b 实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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