|
|
发表于 2025-1-17 00:27:02
来自手机
|
显示全部楼层
tsenway 发表于 2025-1-16 10:58, m+ @5 C# E& s# \: W k
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。
& o5 W$ N: d* C2 a, J7 G8 h7 X先看今天北大、交大官网上 ... + [- f8 [% `' m9 M, ^4 z1 ]
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍" n; ~- y: q* C% k5 U2 q
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介' M/ U( \$ V0 q. I7 k
来自: 电子与信息 >2 t. f. u+ C3 K1 [& e

* I! p, b, p7 X# Z: jlogic2002+ k$ A* N+ D9 j; a- m! `
楼主 2007-9-5 00:305 ?- \" H3 B+ u/ u+ u
回复. p/ \) _1 ?* q8 Y' a! H
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
. Z& |# }1 P l8 j# u2 Z# [* T) F9 F所属单位 信息科学技术学院
+ r( ~) U; Y% c2 G使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层
/ Y& W& R# } R* g/ R/ o' x- \管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
6 C) C" V' }" c: R实验室主任 王阳元 ; d, W6 b: o. s
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。
4 f9 g, n9 K% H 实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
|