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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58, [- P& @8 F$ T( c" y# i
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。, E0 G* U4 @( l- }
先看今天北大、交大官网上 ... 3 j# a& v( o2 E4 {# n# \* }1 i; {
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍/ n: I2 P3 f; _: Q6 P+ t
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介9 V, H6 J8 |9 o% G
来自: 电子与信息 >+ b& ^4 a4 W+ q. r- n
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logic2002
* Z5 k- O1 j/ X# u8 P4 F8 ?1 I楼主 2007-9-5 00:30( p- J$ ?: q( Z1 E+ T7 A; [6 g
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" C# G% i$ y, G3 C! g8 ]微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)3 M' `5 d' _& L8 a6 s
所属单位 信息科学技术学院 # E/ o" {: j" q" R0 y5 T
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层' a7 s8 y/ x+ W% U ?: W' \
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
' o, K" o) w. J: ?- q实验室主任 王阳元 % g) r# C) V6 ~/ l4 D' N. K& O
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。, m! j" ?7 p3 b; r1 }1 d7 w
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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