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发表于 2024-5-20 18:27:01
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; r- Q. Q7 P' ~( g济南在全球率先研制成功12英寸铌酸锂晶体
6 L1 s3 c2 z, T0 K) m: W: q近日,我市两年前的一项“揭榜挂帅”科研攻关项目研制成功,这让济南在全球率先研制出了12英寸(直径300mm)的超大尺寸光学级铌酸锂晶体。# L0 q4 `, k1 j5 J- k) v; S
完成这项科研攻关的是山东恒元半导体科技有限公司,是济南大学8英寸铌酸锂晶体科研成果的转化项目。目前,恒元半导体已经开始批量生产6-8英寸Z轴、X轴光学级铌酸锂晶体。
5 ]/ W5 R* U: v2 H“本着研发走在前列的科技产业发展理念,公司与山东大学刘宏教授、济南大学孙德辉教授科研团队合作,在世界上首次提出了研发12英寸铌酸锂晶体生长技术,并成为2022年济南市‘揭榜挂帅’科技计划重点项目。”恒元半导体公司总经理彭立果说。, L- r+ o+ c- w5 w
经过两年的攻关,经历了数十次失败,恒元半导体公司相继攻克12英寸铌酸锂晶体生产设备的设计、晶体生长及缺陷控制、晶体后处理等全链条关键核心技术,4项科技成果获得国家发明专利授权,终于在全球首先突破了12英寸铌酸锂晶体生长技术。近日,恒元半导体公司对外公布了在全球率先研制成功12英寸光学级铌酸锂晶体的消息。3 k2 k! H2 A' q/ U1 p* M9 w
铌酸锂晶体是一种具有压电、电光、声光及非线性光学等多种效应的多功能晶体材料,是集成光电子技术的核心基础材料。研究表明,基于铌酸锂光学平台开发出的全球领先微波光子芯片,可运用光子进行超快模拟电子信号处理及运算,比传统电子处理器快1000倍。随着半导体工艺普遍进入纳米级,基于电子和硅材料的集成电路芯片已经越来越接近物理极限,成本也在不断增加,科学家们早已把目标转向了速度更快、能耗更低、性能更稳定的光子芯片。) A4 P7 M! W9 f7 b' z/ ~
如今,12英寸铌酸锂晶体研制成功,让济南在集成光电子产业发展的道路上更进一步。彭立果说:“铌酸锂晶体尺寸越大,意味着单位芯片的成本越小,这是光子芯片产业化的基础。公司已经募集到1亿元左右的资金,计划3年内晶圆年产量达到25万片。” |
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