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发表于 2026-7-1 21:21:52
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AI赋能研发跑出加速度 国产KrF光刻胶树脂研发取得阶段性进展
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' o, m4 y8 L3 Z0 A) h% W9 O. ^东南网7月1日讯（本网记者 刘玮 李奇）半导体光刻胶是芯片制造的核心基础材料，长期以来，高端光刻胶相关技术受制于海外，成为我国集成电路产业发展的关键材料之一。近日，上海人工智能实验室牵头，联合厦门大学洪文晶教授团队及国内光刻胶材料企业等合作单位，在KrF光刻胶树脂研发上取得阶段性突破，自研树脂产品多项核心指标对标国际主流产品。$ L, \. F$ U1 V$ {4 _
( H9 ?+ |0 M0 y6 t4 f洪文晶同时客观分析了产业转化的客观规律。他坦言，人工智能能够极大加快实验室原始创新的速度，但光刻胶属于超高精度新材料产品，从样品研发成功到投入芯片工厂规模化使用，必须经过长期、严格的产线可靠性验证，这一环节目前无法借助技术手段缩短周期。目前，和相关企业已完成树脂配方适配，项目将进入产线验证阶段。3 M) }# Z# ~2 s) J
4 }( Y$ q4 N* T" W* J9 J2 ^/ m在项目团队看来，本次攻关的价值，远不止实现一款光刻胶树脂的国产化，更在于打造出一套自主可控的新材料智能研发工具。这套技术体系通用性强，除了继续助力更高端光刻胶研发之外，还可广泛应用于各类高端电子化学品领域。
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N& s( k" T: i8 E+ q. Q- t: L目前，团队依托这套研发模式，已完成多款电子化学品相关研发储备，相关成果不久将对外公布。虽然品类不同，但这套研发体系具备通用价值，将持续助力国内全品类光刻胶技术加速向前追赶。
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& ?9 c) z% ]- x/ r2 e放眼长远，厦门大学还在持续拓展新型研发模式的应用场景。如今，团队已将相关技术延伸至新能源领域，开展电池粘结剂、隔膜、电解液等全链条材料研发，同时尝试运用新技术研发高端实验仪器。 W! c8 u# Z' r) S" i" d$ B" L
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& N9 O& R9 k- x5 ?http://xm.fjsen.com/2026-07/01/content_32211203.htm
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发表于 2026-7-1 21:09:31
